Détecteur à semi-conducteur au silicium, affleurant (mesure de pression piézorésistive)
Dans
le cas des matériaux semi-conducteurs, la variation de la résistance
spécifique, et donc du signal, découle de la mobilité variable des
électrons dans la structure cristalline. Cette mobilité est influencée
par la contrainte mécanique. La séparation de la puce de silicium
sensible et du milieu du process est assurée par une membrane en acier
inoxydable (encapsulage). Pour la transmission interne de la pression,
on fait appel à un liquide spécial, de l'huile de paraffine ou de
silicone selon l'application.
Les transmetteurs à technologie
piézorésistive au silicium se caractérisent par une précision de mesure
élevée et une bonne stabilité à long terme. De par leur boîtier
entièrement soudé, ils ont une longue durée de vie et trouvent aussi
utilisation dans les zones explosives (ATEX).
Ils conviennent même
aux petites plages de mesure, en particulier aux mesures de niveau
hydrostatiques à partir d'une hauteur de 0,50 m.